Толстопленочная технология

Толстопленочная технология основана на процессе нанесения через сетчатый трафарет на керамическую подложку проводящих, диэлектрических и резистивных паст с последующим вжиганием в подложку. 


На предприятии используются следующие виды паст:


• резистивные пасты на основе рутения;
• серебросодержащие и серебро-палладиевые проводниковые пасты;
• диэлектрические пасты марок ПД-11, ПД-12.
• минимальная ширина проводника – 200 мкм;
• минимальное расстояние между проводниками в одном слое – 150 мкм;
• несовмещение слоев – не более 100 – 150 мкм;
• количество слоев – 6 – 8.

Сетчатые трафареты изготавливаются на основе сетки из нержавеющей стали с использованием фотолитографических процессов. Трафаретная печать толстопленочных микросхем осуществляется на прецизионном принтере AMI / Precco модели MSP-885, оснащенном визуальной системой совмещения. Вжигание паст проводится в конвейерных печах по ступенчатому температурному режиму, максимальная температура ~ (840 – 860) оС.

Для подгонки резисторов применяют лазерный метод.

 


Версия для печати
Отдел Маркетинга Е-mail: market@startatom.ru
Телефон. (8412) 23-28-58
Факс. (8412) 65-17-34
442960, Заречный, пр. Мира 1