Аналитическое оборудование

Наименование оборудования. Тип

Назначение

Рентгеноскопическая система контроля

Неразрушающий рентгеновский контроль ЭКБ (напряжение на трубке 30...160 кВ, ток 0,01...0,4 мА)

Аналитическая субмикронная установка зондового контроля

Исследование топологий кристаллов ЭКБ с осуществлением электрического контакта цепей измерителя и контактируемым элементом до 0,8 мкм, с возможностью перерезания металлизированных шин и подогревом кристалла до +150°С

Тепловизор

Анализ тепловых полей ЭКБ в диапазоне измеряемых температур -40°...+500°С

Масс-спектрометрический комплекс

Определение паров влаги в подкорпусном объёме ЭКБ в количестве 0,01 % в 0,01 см3 при температуре +25°С и давлении 380 мм.рт.ст.

Сканирующий (растровый) электронный микроскоп

Исследования рельефа поверхности объектов в твердой фазе и определение количественного и качественного элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа (разрешение 3,0...4,5 нм, диапазон анализируемых элементов B:Am, разрешение энергодисперсионного детектора 133 эВ)

Системы визуального контроля (увеличительные линзы, стереоскопические микроскопы, компьютерный микроскоп, флюоресцентный микроскоп)

Визуальный контроль ЭКБ (внешний вид, маркировка, внутренний объём, топология кристалла)